سنسور فشار پیزورزیستیو
کرنش سنج مقاومت یکی از اجزای اصلی سنسور کرنش پیزورزیستیو است. اصل کار کرنش سنج مقاومت فلزی بر این پدیده استوار است که مقاومت کرنش سنج جذب شده روی بستر با تغییر شکل مکانیکی تغییر می کند که معمولاً به عنوان اثر کرنش مقاومت شناخته می شود.
سنسور فشار سرامیکی
سنسور فشار سرامیکی بر اساس اثر پیزورزیستیو است. فشار مستقیماً روی سطح جلوی دیافراگم سرامیکی عمل می کند و باعث تغییر شکل جزئی می شود. یک مقاومت فیلم{2} ضخیم در پشت دیافراگم سرامیکی چاپ می‌شود و یک پل وتستون را تشکیل می‌دهد. با توجه به اثر پیزومقاومتی مقاومت پیزورمقاومتی، پل یک سیگنال ولتاژ بسیار خطی تولید می کند که متناسب با فشار و همچنین متناسب با ولتاژ تحریک است. سیگنال های استاندارد بسته به محدوده فشار به 2.0/3.0/3.3 mV/V و غیره کالیبره می شوند و با سنسورهای استرین گیج سازگار هستند.
سنسور فشار سیلیکونی پخش شده
اصل کار یک سنسور فشار سیلیکون منتشر نیز بر اساس اثر پیزورزیستیو است. با استفاده از این اصل، فشار محیط اندازه‌گیری شده مستقیماً روی دیافراگم سنسور (فولاد ضد زنگ یا سرامیک) اثر می‌کند و باعث می‌شود که دیافراگم یک جابجایی کوچک متناسب با فشار متوسط ایجاد کند. این باعث تغییر در مقاومت سنسور می شود. مدارهای الکترونیکی این تغییر را تشخیص می دهند و یک سیگنال اندازه گیری استاندارد مربوط به آن فشار را خروجی می دهند.
سنسور فشار یاقوت کبود
با استفاده از اصل کرنش سنج، این حسگر از سیلیکون-یاقوت کبود به عنوان عنصر حسگر نیمه هادی استفاده می کند که دارای ویژگی های اندازه شناسی بی نظیری است. بنابراین، عناصر حسگر نیمه هادی ساخته شده از سیلیکون-یاقوت کبود نسبت به تغییرات دما حساس نیستند و ویژگی های عملکردی عالی را حتی در دماهای بالا نشان می دهند. یاقوت کبود دارای مقاومت تابشی قوی است. علاوه بر این، عناصر حسگر نیمه هادی یاقوت کبود سیلیکونی-دریفت p-ن ندارند.
سنسور فشار پیزوالکتریک
اثر پیزوالکتریک اصل کار سنسورهای پیزوالکتریک است. سنسورهای پیزوالکتریک را نمی توان برای اندازه گیری های ایستا استفاده کرد زیرا بار پس از اعمال نیروی خارجی تنها زمانی حفظ می شود که مدار دارای امپدانس ورودی نامحدود باشد. از آنجایی که در واقعیت اینطور نیست، حسگرهای پیزوالکتریک فقط می توانند تنش دینامیکی را اندازه گیری کنند.